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恒压控制系统

发布时间: 2025-05-08 18:59:19    浏览次数:23

诺巴迪研发的恒压控制系统采用的是变频控制真空泵的原理,变频真空泵可以自动控制抽气速率,进而获得腔室压力的精密测量和恒压控制,与我司的管式炉/镀膜仪等设备相结合,实现CVD、PECVD等工艺压力恒定的精确控制,整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计,广泛用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、混气配气系统及其它分析仪器中。


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设备特点:

1、高真空恒压

2、独有的恒压控制系统,采用变频控制真空泵保证炉管内维持一定的负压;

3、控制稳定可靠,操作方便,安全防护措施完善

4、设备采用数显真空计和压力传感器进行检测,保压效果更好

5、具有物联网功能(WIFI),可通过手机、电脑远程对设备进行监控,操作。

6、数据存储功能,可保存重要参数,时长达30天之久(每天开机8小时)。

7、联网功能,通过RJ45接口,采用TCP/IP协议,可以让系统与上位机相连(上位机需安装相应软件)。

设备名称

恒压控制系统

规格型号

NBD-HY-DRV16

供电电源

单相220V 50HZ

额定功率

1KW

真空泵型号

变频真空泵 DRV16C单相 KF25(带油雾过滤器)

压力传感器

0-100Kpa

数显真空计

PG800K 1Pa-10000Pa

压力控制范围

200pa~700pa(数显真空计控制200-1000ml/min的进气量下

测量精度

±1pa数显真空计控制

压力控制范围

10Kpa-50Kpa压力传感器控制6L/min-17L/min的进气量下

测量精度

精度可控制范围±1%压力传感器控制

设备占地尺寸

650*高420*深450mm

重量

40KG

服务支持

一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件)
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