多温区CVD系统
发布时间: 2020-07-02 07:45:00 浏览次数:3289
设备简介:
多温区CVD系统一体炉,供气和真空系统灵活组合,满足各类薄膜沉积,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大面积的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。诺巴迪成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
![]()  | 设备特点: 1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管,耐腐蚀耐高温性能优越; 2.高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,保温效果优越,降低设备功耗; 3.炉体采用双层风冷结构工艺,自动抬升系统开启上盖; 4.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,实时加热功率显示,非线性式样温度修正;实验报告自主生成,实验数据无限次导出。 5.一体化设备包含多路供气系统,多温区加热系统和高真空系统;  | |||||||||||||||||||||||||
产品温区  | 三温区  | 四温区  | 五温区  | 六温区  | ||||||||||||||||||||||
炉管尺寸  | Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1600mm  | |||||||||||||||||||||||||
工作温度  | ≤1150℃  | |||||||||||||||||||||||||
加热区选择 (可定制)  | 200mm*3/ 200+300+200mm/ 200+400+200mm/ 300mm*3/ 300+400+300mm  | 200mm*4/ 200+300+300+200mm/ 200+400+400+200mm/ 300mm*4/ 300+400+400+300mm  | 200mm*5/ 300mm*5 
  | 200mm*6/ 300mm*6 
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升温速率  | ≤20℃/s  | |||||||||||||||||||||||||
电气规格  | AC380V 6~10KW  | AC380V 8~14KW  | AC380V 10~15KW  | AC380V 12~18KW  | ||||||||||||||||||||||
气体系统(可选购)  | 浮子或质子  | |||||||||||||||||||||||||
管道示意图  | 
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进气接口数量  | 2、3、4(多路可选)  | |||||||||||||||||||||||||
流量范围  | 20-250/20-800ml/min.....(多量程可选) 50/100/200/500sccm......(多量程可选)  | |||||||||||||||||||||||||
工作压差范围  | 0-0.15MPa  | |||||||||||||||||||||||||
低真空系统(可选购)  | 真空泵型号  | NBD-3C/NBD-4C  | ||||||||||||||||||||||||
抽气速率  | 3L/s或4L/s  | |||||||||||||||||||||||||
进排气口尺寸  | KF16/25  | |||||||||||||||||||||||||
系统真空  | 3~5Pa(真空泵极限真空6.2*10-2Pa)  | |||||||||||||||||||||||||
工作环境温度  | 5-40℃  | |||||||||||||||||||||||||
电气规格  | AC220V  | |||||||||||||||||||||||||
低真空系统(可选购)  | 真空泵型号  | NBD-103(A)  | NBD-103(B)  | |||||||||||||||||||||||
抽气速率  | 110L/s  | 600L/s  | ||||||||||||||||||||||||
真空测量计  | 复合真空计  | |||||||||||||||||||||||||
系统真空  | 4.310^-3Pa  | 6*10^-4Pa  | ||||||||||||||||||||||||
工作温度  | 5-40℃  | |||||||||||||||||||||||||
电气规格  | AC 220V  | AC 380V  | ||||||||||||||||||||||||
设备使用注意事项  | 一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件。)  | |||||||||||||||||||||||||
服务支持  | * 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746  | |||||||||||||||||||||||||
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