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高温高真空CVD一体机

发布时间： 2022-08-16 17:13:57 浏览次数：2316

设备简介：

NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺，并且从美学艺术角度出发，根据人体安全的角度进行设计。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制，使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证，几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。

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	设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统，高真空分子泵机组，新一代无油涡旋真空泵作为前级泵，以及高精度气体质量流量控制系统，可以实现样品在高精度气体控制、高温（Tmax：1650℃）条件下的智能化操作。
产品型号	NBD-T1700-80T2G3Z
Tmax	1700℃
额定温度	1650℃
控温精度	±1℃
触摸屏尺寸	15.6英寸
额定功率	10KW
传感器类型	B型
推荐升温速率	≤10/min
炉管尺寸	Ø80*1200mm
极限真空度	6×10-4Pa
炉体外形净尺寸	长1690×高1410×深765mm
无油涡旋式干式真空泵（前级泵，具有结构简单，密封性能好，极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点，在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。）
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
气体系统（可选购）	流量计类型	浮子流量计				质量流量计
	管道示意图
	进气接口数量	2、3、4（多路可选）
	流量范围	20-200/60-600l/min(多量程可选)				50/100/200sccm(多量程可选)
	工作压差范围	0-0.15MPa
低真空系统（可选购）	真空泵型号		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽气速率		1L/s		3L/s		4L/s
	进排气口尺寸		Φ8mm宝塔接头		Φ8mm宝塔接头		KF16/25
	极限压力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作温度		5-40℃
	电气规格		AC220V
分子泵高真空系统（可选购）	分子泵系统型号		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽气速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空测量计		复合真空计
	极限压力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作温度			5-40℃
	电气规格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746

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