电子级单晶金刚石参数表

电子性能

数据

折射率(590nm)

2.4

电子迁移率(cm2/v.s)

4500

空六迁移率(m2N s)

3800

含量(EPR测得)

<5ppb

硼含量

<1ppb

电子性能

数据

电阻率(2.cm)

>100

介电常数

5.5

介电损耗

<2x104

热学性能

数据

热导率(300KWm:K)

1000~2200

栌膨胀系数(x10-rC)

1(室温)

机械性能

数据

断裂强度

2.5~3GPa

断裂韧性(Pam’)

1~8

杨氏模量

1050GPa

硬度

70~120 GPa

摩擦系数

0.1

品名规格

实验室培育金刚石

尺寸规格

10mm*10mm*0.4m

备注

工艺方法

MPCVD

外观标准

清晰无杂质

判定OK/NG

序号

项目

检测工具/结果

1

长*宽

卡尺

OK

2

横向公差

+0.2/-0mm

3

厚度尺寸

卡尺

>0.3mm

OK

4

厚度尺寸

+0.01/-0.02mm

5

表面切痕

目测

无

OK

6

NV值检测

拉曼光谱仪

2, 2

OK

7

多晶检测

60倍被光镜

无

OK

8

透光性

强光手电

能穿透

OK

9

重量

电子秤

0.10g

OK

10

掺杂量

N、B

无

N/A

11

晶体学

通常100%单扇区(100)

OK

12

横向尺寸测量

向较小的一侧

OK

13

边缘、边缘

激光切割，边缘

OK

14

面朝向

(100)大面朝向

OK

15

边缘激光切0

3°

OK

16

第12面粗抛光糙度，Ra

抛光，Ra<30nm

OK